截至10:37，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)強(qiáng)勢上漲2.52%，成分股上海合晶上漲20.00%，中科飛測上漲13.71%，華興源創(chuàng)上漲10.87%，中芯國際，艾森股份等個股跟漲。科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏（588170）上漲2.16%， 沖擊4連漲。

流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏盤中換手12.56%，成交13.12億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至5月19日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏近1周日均成交21.41億元，領(lǐng)先同類。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏最新規(guī)模達(dá)101.98億元，創(chuàng)近1年新高，領(lǐng)先同類。

從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏近4天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得2.00億元凈流入，合計“吸金”3.19億元，日均凈流入達(dá)7983.10萬元。

科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF華夏（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數(shù)是科創(chuàng)板唯一的半導(dǎo)體設(shè)備主題指數(shù)，其中存儲芯片含量近80%，先進(jìn)封裝含量在全市場中最高（約59%），聚焦于科技創(chuàng)新前沿的硬核設(shè)備公司。